先用脉冲电流激发等离子体,再用多层反射镜来收集13。5纳米的波长,最后聚焦和输出。
林南原本不以为然,但在研究一段时间后,他发现老板的方案并非是空想,而是具备极强的可实现性。
事实证明,这条路是对的!
“行,先这样。”
陈延森极为平淡地挂了电话。
在他看来,光刻技术是个无比庞大的环节,除去光源部分,物镜系统、双工作台、光刻胶等模块也是重中之重。
搞定EUV光源的激发方式,不过是千里之行,才走一步而已。
另一边。
林南暗自咋舌,表情有些失控,他其实很想再打回去告诉老板:“凭借这项技术,明年拿个国家最高科学技术奖,也不是没有可能啊!”
可他转念一想,深蓝科技还有三个诺贝尔化学奖的获得者,老板的反应平淡也很正常。
由于‘磁约束放电等离子体光源’是星源科技和华科协会的共同研究成果,消息在国内的科学界飞速传开。
胡锐晖在得知后,猛地站起身,根本不敢相信。
“这才四个月不到,就特么有成果了?开什么玩笑?”
胡锐晖在办公室里走来走去,竟破天荒地爆了粗口。
同一时间,哈工大光学实验室和龙州光机所也收到了消息。
第一反应,假的!
可他们在反复验证后,又不得不相信,星源科技和燕京光电所,还真把EUV光源技术给搞了出来。
并且,还成功绕过了阿斯麦、卡尔蔡司、山星、湾积电和Cymer构筑的专利防御墙。
两个小时后,李青松接到胡锐晖的电话。
“先封锁消息,让安国协会的工作人员立刻赶到沪城,所有参与了研发过程的人员,一律签署保密条例。”
李青松在明白这项技术的重要性后,脸色瞬间变得凝重起来,冲着一旁的秘书吩咐道。
他在星源科技身上,看到了国产光刻机崛起的希望!
“好的,李先生。”秘书不敢耽搁,抓起电话就开始联系安国协会,将需要签署保密条例的人员名单、对接流程一一梳理清楚。
李青松则站在办公室的玻璃窗前,望着燕京灰蒙蒙的天空,不由地陷入了沉思。
星源科技在EUV光源领域的技术突破,像一道惊雷,劈开了自研光刻机路上的迷雾,可随之而来的,还有无数即将袭来的暗流。
一旦消息泄露,阿斯麦、卡尔蔡司那些国际巨头绝不会坐视不理,要么通过专利诉讼拖延进度,要么联合供应链施压,甚至可能动用盘外力量干预。
毕竟,半导体行业从来都不只是单纯的技术竞争,背后牵扯着太多的利益博弈。
星源科技的发展让人出乎意料!
与此同时。
沪城星源科技的光学研究实验室里,林南正带领团队进行第三次稳定性测试。