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第2074章 研究方向（第1页）

此刻两人心潮澎湃，他们觉得在新老板的带领下，一定能够制造出完全属于华国的光刻机，当然了，他们也知道，即便造出来，和国外的差距依然不小，但就像老板说的那样，只要完成了全产业链布局，接下来的更新速度会更快的，所以他们很有信心。

“老板放心，我们知道该怎么做了。”

“好。”林语点了点头，“现在我们言归正传，来说说两组的研究方向吧！”

刘成林和王乾伟全都认真起来，尤其将笔拿热起来，准备记录。

“第一组继续DUV光刻机的研发，但是要做些更改，选择193nm的紫光进行研究，将镜头和光刻胶之间的介质改为液体，这些紫光经过折射后，等效波长为134nm，从而实现比F2光源更高的分辨率。当然了，这么改的原因在于F2光源无法穿透水，因此无法和浸没式技术相结合，进一步提升分辨率。而沉浸式技术在光刻精度上更高一些。当然了，这个穿透的介质可能是水，也可能是添加了其他元素的液体，这就需要你们反复的研究了。”

在场的人全都被惊到了，因为老板显然是对技术有一些了解的，虽然不是那么的专业，但是能够说出问题的关键。

“老板，我们采用的技术和现在排名第一和第二的光刻机公司一样，所以您的这个路线可能。。。。。。”刘成林质疑道，但是他并没有直接说老板的路线是错的，但已经暗指了。

“按照我说的去做，没有商量的余地。。。。。。”林语严肃的说道，“你们虽然研制出了光刻机，但是可以说它是个组装机，而且85%的零件全都是进口的，先不说和国外先进光刻机还有一定的差距，光是零部件被限制，就会影响你们的研发进度，所以必须另辟蹊径，只有这样才能弯道超车。”

听到林语的话，刘成林的眉头皱了一下，因为他显然没想到，老板竟然没听他的话，而且能够看的出来，老板有些独断专行，但是既然老板这么说了，他也不能说什么了，毕竟老板给他们涨了工资，还加大了投资，老板怎么说，就怎么做吧！

而王乾伟却瞪大了眼睛，因为他觉得老板说到了点子上，通过折射将紫光波长减小，岂不是一个好的办法吗？因为他去参加过国外举办的一个座谈会，发现（深紫外）光刻的专家就曾和他推过沉浸式光刻机技术，说的就是采用193nm紫光，然后通过介质改变波长。

只不过由于前两大巨头全都选择了157nm的F2的准分子光源作为研发方向，制作干式光刻机，所以他们也跟着做了这样的研究，因为他们知道，跟着老大老二肯定是没错的。

林语看出刘成林有些不服气，这也是可以理解的，毕竟刘成林是专业，也是科研大拿，但他可是重生而来，知道哪条路是行得通的，所以这个时候必须要按照他说的去办，这样能够少走很多弯路。

当然了，他也只是知道研发方向的事情，说的也只是一些的皮毛，但是他们肯定能够听明白的，只要按照林语说的去研发，肯定就没有问题。

“先研发出来浸没式光刻样机，等研发出来，继续研发下一代光刻机，但同步要将生产线做出来，生产线也要完全自主设计、研发、制造，不需要多，只需要一条就可以，这条生产线也不是为了量产光刻机，而是为了下一代的生产线做研究，因为我们造出的第一台光刻机，可能并不是那么的先进，造出的光刻机也不会销售，只会交给公司自己使用。”

“下面我说说这一组研发的第二代产品，我说的第二代不是软件和硬件的更新，而是彻底的改变设计思路，这次采用的不是深紫光，而是采用极紫光。”

林语的话刚刚说完，所有人全都瞪大了眼睛，因为这个概念他们完全没有听到过。因为他们连深紫光都没有研究明白，又怎么会研究极紫光。

林语也是看出了众人的惊讶，他直接说道

“极紫光是波长在13。5nm的紫光，由于这种光拥有很大的破坏性，所以对各零部件的材料和工艺有很大的要求，而且这种波长的光需要在真空条件下工作，更为重要的是，他需要一款专用的反射镜，这款反射镜的精度必须达到pm级别，你们在研发第一代产品的时候，就可以着手在零部件上超越你们现有的研究，只有这样，才能更快的研发出我说的极紫光刻机。”

只见台下的科研人员不停的用笔记录着，因为他们知道这是一个全新的研发方向，因为老板竟然说出了具体的数值，尤其是那精度pm级别的反射镜，哪怕是用在现有的光刻机上，都能进一步提高精度。

刘成林和王乾伟两人深呼了一口气，尤其是刘成林，他知道老板是做了功课的，因为这种研究方向竟然连他这个搞了二十多年光刻机的人都不知道，但是听起来又是那么的可行。

他竟然咬紧牙关，为之前对老板的质疑而感到惭愧。

“老板，这些你都是怎么知道的？”

“这你们就不用管了，按照我说的方向去做研究，错误的单由我来承担，你们放心去做就行。”

刘成林情不自禁的点了点头，这次他是真心佩服老板的。不是说老板说的有多么专业，而是老板所说的方向是他没有想到过的。但是通过老板的叙述，还是能够看的出来，老板对技术并不是很懂，他可能也是从别处得到的研发方向，只是转述出来，但肯定是最先进的方向，不然他不会这么肯定的。

林语继续说道

“有些零件从零开始去做是很麻烦的，所有可以购买一些成品，然后反复的研究，当然也可以去高新区挖一些关键的人才，用钱去解决的问题，都不是问题。”